扩散渗析在多晶硅行业的废酸处理应用

多晶硅是制造单晶硅、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料。近几年，在国家的大力支持下，太阳能产业在国内得到了飞速发展，国内多晶硅的产能呈现爆炸性的增长。目前国内多晶硅主要采用“改良西门子”法生产，此方法具有高能耗、高污染的特点，它产生的废气、液和废渣对环境的危害都较大。废气含有大量的氮气、氢气、氯化氢和氯硅烷气体；废液主要有强腐蚀性的氯硅烷液体、废盐酸、废氢氟酸、废硝酸等；废渣主要有硅渣、二氧化硅等。所以，对多晶硅生产的三废进行合理分类处理，加以回收利用，具有重要意义。在多晶硅的生产中会产生大量的废酸。

盐酸是处理多晶硅废气废液过程中氯硅烷水解生成的产物，现有工艺中水解生成的盐酸主要用烧碱进行中和，但这需要消耗大量的烧碱，不但增加了多晶硅的总体生产成本，而且中和反应生成大量的盐处理困难，造成二次污染，环保压力很大。

用扩散渗析法回收该废酸再返回系统使用，这样既为企业节约了资源，又解决了环境污染问题。

处理效果表所示：